EDI超純水處理設備是一種集成了電滲析與離子交換技術的深度精處理設備，是目前制備工業(yè)超純水環(huán)保的核心工藝。
?
完整的超純水系統(tǒng)通常分為三級：
預處理：多介質(zhì) / 活性炭 / 軟化 / 精密過濾 → 除濁、余氯、硬度
一級除鹽：反滲透（RO） → 去除 99% 鹽分，產(chǎn)水電導率 < 20 μS/cm
深度精處理（EDI）：電去離子模塊 → 產(chǎn)水電阻率 15–18.2 MΩ·cm (25℃)
終端拋光（可選）：拋光混床 / UV / 超濾 → 滿足半導體級（≥18.2 MΩ?cm，TOC < 1 ppb）
主要應用領域1. 電子 / 半導體行業(yè)（最核心應用）
芯片、晶圓清洗、光刻、蝕刻
要求：≥18.2 MΩ?cm、TOC < 1 ppb、無顆粒物
2. 生物醫(yī)藥 / 制藥
注射用水（WFI）、洗瓶、制劑、GMP 認證用水
3. 電力 / 電站
鍋爐補給水、冷卻水處理 → 防結垢、防腐蝕
4. 實驗室 / 科研
HPLC、ICP-MS、細胞培養(yǎng)、精密分析用水
5. 其他
光電顯示（LCD/OLED）、太陽能光伏、精密電鍍、食品飲料
?
